荷兰光刻机领域处于完全垄断的地位，德州仪器TI芯片生产线上普遍采用美国的应用材料

德州仪器TI光刻机：荷兰的 ASML，市占率超过 80%，在光刻机领域处于完全垄断的地位。除 ASML 以外，日本佳能、尼康也是国外知名的光刻机生产商。ASML 可以覆盖所有档次光刻机产品，尼康、佳能的产品分别仅停留在了 28nm 和 90nm 的节点上。国内集成电路产业起步较晚，在光刻机制造领域与国际差距巨大。上海微电子，已实现 90nm 节点光刻机的量产，28nm节点的光刻机也将于明年交付。磨片及倒角：倒角机方面，国外品牌主要为日本东京精密以及日本 SPEEDFAM；国内暂无大批量生产厂商。研磨机方面，国外厂商主要包括日本 SPEEDFAM、日本浜井（HAMAI）、德国莱玛特·奥尔特斯、美国 PR HOFFMAN、英国科密特（kemet）等；国内主要厂商有晶盛机电（300316.SZ）、宇晶股份（002943.SZ）及赫瑞特等。双面磨片机方面，国外主要厂商为日本光洋（Koyo）等；国内暂无规模化生产厂商。单面磨片机方面，国外主要厂商主要包括日本迪斯科（Disco）、日本光洋（Koyo）、日本冈本机械（Okamoto）以及美国 Revasum 等；国内厂商主要是中电科电子装备有限公司，抛光机：国外厂商主要有日本SPEEDFAM、日本不二越机械公司（FUJIKOSHI）、美国 PR HOFFMAN 以及德国莱玛特·奥尔特斯，国内厂商包括中电科 45 所、晶盛机电（300316.SZ）及赫瑞特等，硅片清洗机：国外厂商主要包括日本创新（JAC）、美国 Akrion、美国 MEI 以及韩国 Global Zeus，国内厂商如北方华创（002371.SZ）、中电科 45 所等，卧式炉/立式炉/RTP 等热处理设备：国内150mm以下扩散设备基本自给自足；300mm以上立式炉仍主要依赖进口，仅有北方华创（002371.SZ）可批量供应；RTP 以进口为主。在尺寸小于 150mm 的IC 制造领域，我国的扩散设备基本能实现自给自足，国内知名的设备厂商有北方华创（002371.SZ）、中电科 48 所等。在 300mm 的 IC 制造领域，立式炉仍主要依赖进口，国外厂商有东京电子(TEL)、日立国际(HKE)等，国内只有北方华创（002371.SZ）能够批量供应。北方华创（002371.SZ）的氧化炉目前已供应给中芯国际、华力微电子、长江存储等厂商使用。在 RTP 设备方面，目前芯片生产线上普遍采用美国的应用材料、 Axcelis Technology、 Mattson Technology 和 ASM 的设备（约占90%的市场份额），国内发展相对滞后。