光刻、刻蚀、沉积等流程在芯片生产过程中,德州仪器TI半导体需要的设备比较繁杂

来源:时间: 2024-12-01

光刻、刻蚀、沉积等流程在芯片生产过程中,德州仪器TI半导体需要的设备比较繁杂

半导体需要的设备比较繁杂,在晶圆制造中,由于光刻、刻蚀、沉积等流程在芯片生产过程中需要20到50次的反复制作,是芯片前端加工过程的三大核心技术,其设备价值也最高,但半导体制造设备远远不止这些,设备与世界主流设备的差距,以及替代的可能性,德州仪器TI单晶炉:单晶炉是硅棒生长的核心设备,目前主流单晶炉热屏内径达 300mm,可生产 240mm 直径硅棒。进口单晶炉商家包括美国林顿晶体技术公司、日本菲洛泰克株式会社、德国普发拓普股份公司;国内单晶炉在 8 英寸领域已逐步实现国产化, 12 英寸领域实现小批量供应,代表企业包括晶盛机电(300316.SZ)、南京晶能、北方华创(002371.SZ)、京运通(601908.SH)、西安理工晶体等。南京晶能则率先实现 12 英寸直拉单晶炉的国产化,晶盛机电也能小量生产,但有业内消息称,南京晶能、晶盛机电两家厂商的12英寸半导体单晶炉在上海新昇生产线上的效果不算太理想,所以仍然有待进一步提升国产化,滚磨机:进口厂商主要有日本东京精机工作室;国内滚磨机的制造厂商主要有晶盛机电(300316.SZ)、京仪世纪等,切片:内圆切割机方面,进口厂商主要为日本东京精密,多线切割机方面,进口厂商主要有日本小松株式会社(NTC)、瑞士 SlicingTech 公司;国内中电科 45 所均有所布局。但是切片机对精度控制和稳定性有很高的要求,目前技术差别较大,大多数依赖进口,匀胶显影设备:国外厂商主要有日本的东京电子(TEL)、DNS,以及德国的苏斯等,其中 TEL 在高端产品领域占据主要的市场份额。芯源微(688037.SH)在国内的高端封装、LED 制造等领域占有主要的市场份额,在前道高端设备方面已达国际先进水平,逐步具备了进口替代能力。


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