让一整块单晶体晶体管的性能将大大提高,德州仪器TI晶体管的可靠性规模性生产

来源:深圳市华芯链电子公司时间: 2024-01-31

让一整块单晶体晶体管的性能将大大提高,德州仪器TI晶体管的可靠性规模性生产

解决晶体管的可靠性、规模性生产的问题,1948年下半年,凯利将固体物理研究小组改组为半导体研究小组,并任命了一位行事果断、富有制造经验的工程师杰克·莫顿(Jack Morton)为组长,德州仪器TI一些从事晶体管开发工作的工程师也被他招至麾下,12月的一天,工程师戈登·蒂尔(Gordon Teal)来找莫顿,他需要一笔资金用于制作纯净锗晶体的拉晶机,以便使锗的原材料中生长出均匀一致的大块单晶体,蒂尔是物理化学博士,他对散发着光泽的锗晶体很感兴趣,他认为大块单晶对于晶体管性能至关重要,“猫须”整流器之所以需要不停地尝试,就是因为方铅矿石表面只有极个别区域才有很小块单晶,如果使其变成一整块单晶体,晶体管的性能将大大提高,三个月前,蒂尔在走廊里碰到了机械工程师J.里特尔(J. Little),他们凑巧都准备去参加一个研讨会,两人便交谈了起来,里特尔说他需要一根细长的锗晶条,用于制作一种拉丝状的晶体管,蒂尔说没问题,他可以用拉晶机拉出这样一条很细的锗晶,两人上了公交车后继续讨论,蒂尔介绍了这种拉晶法,即“柴可拉斯基法”,它是1917年波兰的一位科学家J.柴可拉斯基(J. Czochralski)提出来的,这有点像中学化学实验中将漂亮的蓝色硫酸铜晶体从溶液中析出,将一颗种子晶体放置在高温熔化的液体中,并将其缓慢地拉出,在此过程中,种子的尾部会逐渐积累生长更多的晶体,这样就能拉出一条非常完美的单晶,就这样,在下车时,两人已经讨论出一种新的拉晶机模型,拉出的晶体冷却后,将其切割成一片片的晶圆,就能在上面制作晶体管了蒂尔先找到肖克利,请求他给予资金支持,但被拒绝了,肖克利觉得只要随便从锗锭上切割下一块就能用,无须专门拉出高纯度的晶体,蒂尔对此抱怨道:“肖克利在这个问题上真是愚蠢之至!”但莫顿知道半导体晶体纯度对于制造晶体管的重要性,于是批准了蒂尔的请求,蒂尔和里特尔安装了一台7英尺高、2英尺宽的拉晶机,白天他们要完成常规工作,到了夜里才有时间搞拉晶机,他们凌晨两三点起床工作,给拉晶机连接好冷却和加热设备后,随即开始拉伸晶体,1949年3月,蒂尔成功地拉出了第一根锗单晶棒,它的少数载流子寿命比以前直接从锗锭上切割下来的长10倍以上,肖克利承认自己之前判断失误,他给蒂尔分配了实验室,成立了生长单晶体的研究小组,蒂尔不用再熬夜了,拉晶法奠定了今天半导体制造的基础,拉出的圆柱形晶体越粗,切割下来的晶圆片直径就越大,容纳的芯片和晶体管就越多,分摊到每个晶体管上的成本也就越低,晶圆直径从1960年的1英寸增加到1976年的4英寸、1992年的8英寸,最后到2002年的12英寸——这是目前最大的晶圆片,相当于一张大号比,萨,上面能容纳下640颗长宽均为1厘米的芯片,而在2英寸的晶圆上只能装下9颗芯片。


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