等离子体是电离原子或分子的高能集合，德州仪器TI高压氧化系统在5个大气压下工作

高压氧化系统在5个大气压下工作，其压力是大气压的5倍，　空气的大气压为14.7psia，在气缸中气压要用psig或英磅每平方英寸来表示。这意味着仪表的读数是绝对的，它并不包括外界的大气压，真空(vacuum)也是在半导体工艺中要遇到的术语和情况，它实际上是低压的情况。现在想象当气体从系统中抽走形成真空时会怎样，只要有任何气体分子或原子在压力计中，施加在盘中的水银上的压力就会很小，从而水银柱就会升高一点点但很有限。水银柱变化是毫米级的，是与压力相关的，或者在这种情况下是与真空有关的，蒸发，溅射和离子都工作在真空(压力)，如果将其转换为只有一个简单压力计的真空系统,这就意味着水银柱才0.000 000001(1 × 10-?)到0.000001(1 x 10-?)mm高,非常小的长度。在实践中，水银压力计是不能测量这么低的压力的，而是使用其他更灵敏的压力表。德州仪器TI物质的状态有固体,液体和气体,固体物质有4种状态；固体，液体，气体和等离子体，液体，固体在常温常压下保持一定的形状和体积，气体，液体有一定的体积但形状是变化的。一升水会与其容器形状一致，等离子体，气体既无一定形状又无一定体积。它也会跟其容器形状一致，但跟液体不同之处是，它可扩展或压缩直至完全充满容器，物质的4种状态，特定物质的状态与其压力和温度很有关系。德州仪器TI温度是对材料中包含的所有能量的一种衡量。我们知道只需简单地改变其温度和(或)压力，水就可以在三种状态下存在(冰，液态水或水蒸气)。压力的影响更加复杂，超出了本文的讨论范围。等离子体，固体物质有4种状态，第4种状态就是等离子体。恒星就是一个典型的例子，它当然不符合固体、液体或气体的定义。等离子体是电离原子或分子的高能集合，在工艺气体上施加高能射频场可以诱发等离子体，可用半导体材料和化学品的性质于半导体技术中促使气体混合物化学反应，它的一个优点就是它跟对流系统，如烤箱里的对流加热相比，能量可以在较低的温度下传递。