硅化物再和氢反应生成半导体级的硅,德州仪器TI多晶或多晶硅(polysilicon)的晶体结构

来源:时间: 2025-02-05新闻中心

硅化物再和氢反应生成半导体级的硅,德州仪器TI多晶或多晶硅(polysilicon)的晶体结构

硅化物再和氢反应生成半导体级的硅,这样的硅的纯度达99.9999999%,是地球上最纯的物质之一叫。它有--种称为多晶或多晶硅(polysilicon)的晶体结构,2SiCl(气态)+3H(气态)→2Si(固态)+6HCl(气态), 氢气还原三氯硅烷。 在晶胞里原子的数量、相对位置及原子间的结合能会引发材料的许多特性。每个晶体材料具有独一无二的晶胞。德州仪器TI硅晶胞具有16个原子排列成金刚石结构。砷化镓晶体具有18个原子的晶胞结构称为闪锌矿结构,多晶和单晶晶体结构的第二个级别和晶胞的构成有关。在本征半导体中,晶胞间不是规则排列的。这种情形和方糖杂乱无章地堆起来很相似,每块方糖代表一个晶胞。这样排列的材料具有多晶结构。晶体生长与硅晶圆制备,当晶胞间整洁而有规则地排列时,第二个级别的结构发生了。这样排列的材料具有单晶结构,单晶材料比多晶材料具有更一致和更可预测的特性。单品结构允许在半导体里一致和可预测的电子流动。在晶圆制造工艺的结尾,晶体的一致性对于将分割晶圆成无粗糙边缘的晶元是至关重要的,德州仪器TI晶体材料材料中原子的组织结构是导致材料不同的一种方式。有些材料,例如硅和锗,原子在整个材料里重复排列成非常固定的结构,这种材料称为晶体(crystal),原子没有固定的周期性排列的材料称为非晶体或无定形(amorphous)。塑料就是无定形材料的例子, 晶胞对于晶体材料实际上可能有两个级别的原子组织结构。第一个是单个原子的组织结构。晶体里的原子排列为晶胞(unit cell)结构。德州仪器TI晶胞是晶体结构的第一个级别。晶胞结构在晶体里到处重复,另一个涉及晶胞结构的术语是晶格(lattice),晶体材料具有特定的晶格结构,并且原子位于晶格结构的特定点,成晶体和晶圆晶体生长与硅晶圆制备。


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