晶圆越大,洁净度要求就越高,德州仪器TI达到精确和洁净的工艺

来源:时间: 2025-01-12新闻中心

晶圆越大,洁净度要求就越高,德州仪器TI达到精确和洁净的工艺

典型的混合物就是椒盐(盐和胡椒粉),溶液是固体溶解于液体中的混合物,在液体中,固体分散分布,呈现出独特的性能。不过溶液中的物质并没有形成新的分子。盐水就是溶液的一个例子,可以把它分解回其初始状态:盐和水,德州仪器 离子术语“离子”(ion)或“离子的”(ionic)经常在半导体工艺中使用。该术语指的是材料中任何电荷不平衡的原子或分子。离子是通过在元素或分子的化学符号后加上一个正号或负号的上标,举例来说,一个很严重的污染问题就是可移动的离子污染,比如钠,当钠进入半导体材料或器件中,由于钠带正电荷而引起问题。但在某些工艺,如离子注入工艺中形成离子,如硼离子(B+)对完成工艺是很必要的。工艺化学品I需要很多工艺来将原始半导体材料转变为有用的器件,大部分的工艺都要使用化学品。芯片制造首要是一种化学工艺,或者更准确地说,是一系列化学工艺,高达20%工艺步骤是清洗和晶圆表面的处理,半导体工厂消耗大量的酸、碱、溶剂和水。为达到精确和洁净的工艺,部分成本是由于化学品需要非常高的纯度和特殊的反应机理。晶圆越大,洁净度要求就越高,相应就需要更多的自动清洗工艺,清洗所用化学品的成本也就跟着升高。当把芯片的制造成本加在一起,其中化学品占总制造成本的40%,德州仪器TI对半导体工艺化学品洁净度的要求将在第4章介绍。在工艺相关章节会详细介绍特定化学品和它们的特性。分子,化合物和混合物,用玻尔原子模型解释物质的基本结构。这个模型可解释组成自然界所有物质元素之间的结构差异,但是很显然自然界中超过了103(元素的数目)种物质,非元素材料的基本单位是分子。水的基本单位是两个氢原子和一个氧原子组成的分子。材料的多样性源自原子之间相互结合形成分子,每次我们想指定一个分子时就画图是不方便的,更常用的方式是写出分子式。如水就是熟悉的H?O。这个分子式确切地告诉我们在材料中的元素和其数目。化学家用更确切的术语“化合物”来描述元素的不同组合。这样H2O(水), NaCl(氯化钠或盐), 过氧化氢)和三氧化砷都是由一个个分子集合成的不同化合物。抛光液用在化学机械抛光(CMP)的抛光操作中。代表性的抛光液有细小的二氧化硅(玻璃)悬浮在氢氧化铵之类的弱碱性溶液中,有的元素结合成双原子分子,双原子分子是分子中有两个相同元素的原子。熟悉的气体如氧气、氮气和氢气在自然状态下都是由双原子分子构成的。这样它们的分子式就是O,N和H,物质还有其他两种形式:混合物和溶液。混合物由两种或更多种物质构成,但每种物质都保留各自的特性。


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